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半导体甩干机静电解决方案

客户痛点：

甩干晶圆高速旋转时静电吸附尘埃颗粒，二次污染已清洗晶圆表面。

解决方案：

通过XK122B双头离子风咀向清洗区域输送离子风，确保该区域静电保持在合理范围内，避免二次污染晶圆。

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